作为华虹集团在上海市域外布局的第一个集研发与生产于一体的制造基地，华虹无锡集成电路研发和制造基地一期项目6月6日迎来重要阶段性成果，由华虹半导体(无锡)有限公司承担的12英寸生产线(华虹七厂)成功实现首批光刻机搬入，标志着华虹七厂建设迈上一个新台阶，为今年9月份建成投片奠定了基础。

华虹集团是国家“909”工程的成果与载体。2017年8月，华虹集团与无锡市政府签署战略合作协议，总投资约100亿美元的华虹集团集成电路研发和制造基地项目正式落户无锡高新区。华虹无锡项目一期投资25亿美元，主要建设一条工艺等级为90-55纳米、月产4万片的12英寸特色工艺生产线，将开发生产智能卡芯片、微控制器芯片、电源管理芯片及系统集成芯片等产品。

自2018年3月开工至今，华虹七厂主要工程节点较原计划大幅提前。目前主厂房已完成净化装修，相关配套机电设备准备就绪，具备了工艺设备搬入条件。今年5月24日，华虹七厂实现首台工艺设备的搬入，6月6日又迎来生产线最关键的首批光刻机的搬入。

据专家介绍，光刻机是芯片制造过程中的核心设备，它定义了整条生产线的工艺水平。芯片制造是通过光刻把图形复制到硅片上的过程，图形最小尺寸取决于光刻机水平。华虹无锡项目工艺等级为55nm，所选用光刻机由荷兰ASML公司生产，在55nm节点其技术是目前最广泛应用的成熟产品。随着光刻机的搬入，华虹七厂生产线建设进入到设备全面安装调试阶段，朝着年内实现量产又迈进了一大步。

华虹七厂厂长倪立华告诉记者，在接下来的一个半月时间里，无锡七厂的后续设备将不间断密集搬入并完成安装调试。工厂将力争在8月份实现工艺线贯通，9月份完成产品试片，年内实现规模出货。

集成电路代工企业在技术上通常有两条战略发展路线，一条是沿着“摩尔定律”不断微细化发展，一条是沿着“超摩尔定律”发展特色工艺。近年来，华虹集团一方面坚持在“摩尔定律”路线上不断研发先进工艺技术，同时坚持在“超摩尔定律”方面不断发展。华虹无锡项目正是华虹8英寸“超摩尔定律”特色工艺平台在12英寸上的进一步延伸，它瞄准的终端应用包括5G通信、物联网以及汽车电子等领域，这也与无锡市的产业发展定位和走向非常契合。

华虹无锡项目的启动建设，将使无锡成为全国集成电路高端生产线最密集地区之一，巩固无锡作为“国家南方微电子工业基地中心”地位，也将进一步奠定无锡高新区在全国集成电路领域的领先位置。同时，无锡正在打造以物联网为龙头的新一代信息技术产业高地，华虹的到来，也将为无锡智慧城市建设提供有力支撑。无锡市副市长王进健表示，将把华虹无锡项目作为产业高质量发展的“头号工程”，以更大力度支持华虹集团在无锡高新区的业务发展。

自1996年成立以来，华虹集团一直是我国发展自主可控集成电路产业的先行者和主力军。华虹进入无锡后，无锡的通用半导体制造技术将从8英寸时代进入12英寸时代，工艺技术能力也将由之前的0.13微米提升至55纳米节点。华虹无锡基地也是无锡迄今为止单体投资最大的产业项目。

华虹集团总裁王靖表示，华虹无锡项目的布局，是华虹集团全面贯彻落实长三角区域经济一体化发展、推动经济实现高质量发展的重要举措，也是深化贯彻落实打响“上海制造”品牌建设的重要抓手。

近日，我国正式发放5G商用牌照，加速进入5G时代。据倪立华介绍，智慧城市的根基以及物联网的发展离不开5G技术支撑，华虹无锡项目瞄准的终端应用包括5G、物联网等新兴应用领域，规划技术路线包含逻辑与射频、嵌入式非易失性存储器以及电源管理。随着5G商用时点的临近，5G射频芯片迎来黄金发展期。华虹无锡(半导体)有限公司也将基于华虹宏力成熟的射频CMOS工艺，以及RF　SOI与锗硅BiCMOS工艺等，为无锡打造以物联网为龙头的新一代信息技术产业高地贡献力量。(高少华 陈杰)

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